IC制造中洁净室最新设计技术  

作　　者：蔡君质 

出　　处：《LSI制造与测试》1990年第2期28-33,共6页

关 键 词：IC 制造 洁净室 设计 无线电工厂 

分 类 号：TN082[电子电信—物理电子学]