离子注入机束流轨迹的调整  

作　　者：刘军 邬春桂 

出　　处：《LSI制造与测试》1990年第6期32-35,共4页

关 键 词：离子注入机 束流轨迹 调整 

分 类 号：TN405.3[电子电信—微电子学与固体电子学]