激光扫描光声微探针应用研究  

作　　者：臧友松[1] 王连杰[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所

出　　处：《四川激光》1982年第2期13-17,共5页Laser Journal

摘　　要：1978年Thomes和Y．H·Wong首次报导了激光扫描微探针（又叫激光光声成象和光声显微镜）的无损探测技术。目前，这种技水在探测特种陶瓷材料氮化硅的表面和次表面结构以及集成电路的检测方面已见到好的结果。文献中曾报导了几种探测模型的研究结果。

关 键 词：激光扫描 微探针 应用 光声 探测技术 表面结构 声显微镜 集成电路 陶瓷材料 探测模型 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学] TN16