超精密运动平台隔振系统性能分析与实验研究  

The Investigation and Experimentation on Vibration Isolation System of Ultra-high Precision Stage

作　　者：黄欢[1] 郁鼎文[1] 刘向阳[1,2] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系 [2]吉林大学机械科学与工程学院,长春130022

出　　处：《科学技术与工程》2006年第1期23-27,共5页Science Technology and Engineering

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973)(2003CB716204)资助

摘　　要：分析了极微细电火花加工的三维超精密运动平台隔振系统的组成及工作原理,指出了运动平台隔振保障技术是能否达到微加工精度的重要因素;对一级主动隔振的上平台和二级隔振,采用ANSYS软件进行了模态分析和研究,同时采用激振实验与ANSYS分析进行比较,结果表明二者具有较好的一致性,从而得出二级隔振的振动特性。通过实际的隔振效果测试,得出此二级隔振系统进一步提高了隔振效果,为三维运动平台达到高精度提供了保证。A vibration isolation system of ultra-high precision stage discharge machining （rnicro-EDM）, including two isolation equipments. is set up for micro-electron The first isolation is an active Vibration Isolation platform and the second is a ＂Ji Nan Black＂ Granite table. The modal of the platform and the table is investigated and the vibration identity of the system is known by experimentation of modal analysis and simulation based on FEM（Finite Element Method）. The results show that the system enhances the effect of vibration isolation.

关 键 词：极微细电火化加工 隔振系统 高精度模态分析 

分 类 号：TG661[金属学及工艺—金属切削加工及机床]