时间监控双离子束溅射沉积制备荧光滤光片  

Coating Fluorescence Filter by Time-power Monitoring of Double Ion Beam Sputtering

作　　者：卜轶坤[1,2] 朝克夫[1,2] 叶子青[1] 郑权[1] 钱龙生[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《激光与红外》2005年第12期968-970,共3页Laser & Infrared

基　　金：国家高技术研究发展计划(2002AA311141)资助项目。

摘　　要：文章对中心波长为488nm、520nm、560nm和600nm的专用滤光片进行了研制,为保证 通带高透过率的要求和对背景光的高效抑制,采用单基片进行膜系叠加的方法进行了组合带 通滤光片的设计,并采用时间监控膜厚的双离子束溅射沉积薄膜技术进行了镀制,成功的制备 出供生化仪使用的一系列荧光栅滤光片。The filters for fluorescence spectra system were studied, which central wavelength is 488nm ,520nm ,560nm and 600nm respectively. To assure high transmittance in passband and restrain the background light, the combination bandpass filter coating with a single substrate was designed and coated by double ion beam sputter technique, which is controlled by a time-pewer monitoring method.

关 键 词：荧光分析 栅滤光片 时间监控 双离子束溅射 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]