CO_2激光辐照下光学薄膜的热畸变研究  

Experimental Study on Thermal Distortion of Thin Film Coatings Irradiated by CO_2 Laser

作　　者：杨富[1] 南景宇[1] 郑伟[1] 张彬[2] 黄伟[3] 

机构地区：[1]河北北方学院物理系,河北张家口075028 [2]四川大学电子信息学院,四川成都610064 [3]中国科学院光电技术研究所,四川双流610209

出　　处：《激光与红外》2006年第1期64-67,共4页Laser & Infrared

基　　金：河北省教育厅自然科学基金资助项目(2004402)

摘　　要：采用夏克-哈特曼波前传感器对不同基底材料、不同厚度单层光学薄膜以及不同膜系的多层光学薄膜样品在10.6μm激光辐照下的热畸变进行了实验研究。Using the Shack-Hartmann wavefront sensor, the thermal distortions of the different substrates, the single layer thin films with different thickness and the different optical thin films irradiated by CO2 laser at 10, 6μm wavelength were studied experimentally in this paper.

关 键 词：CO2激光 光学薄膜 热畸变 基底 夏克-哈特曼波前传感器 

分 类 号：O432.2[机械工程—光学工程]