硅材料中氮的性质和研究  

作　　者：杨德仁[1] 

机构地区：[1]浙江大学半导体材料研究所

出　　处：《半导体技术》1990年第4期47-50,64,共5页Semiconductor Technology

摘　　要：氮在硅材料中的应用日渐广泛,影响也日渐重要,本文在论述晶体硅中氮的基本性质的同时,综述了近年来氮在硅中的存在形态,氮对硅机械强度的影响以及和氧原子的互相作用等方面的研究成果,并指出了研究中仍然存在的一些问题。

关 键 词：硅材料 氮 晶体硅 机械强度 半导体 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]