压电陶瓷致动器驱动电源的研究  

Research of Power Supply for Piezoelectric Actuator

作　　者：林伟[1] 叶虎年[1] 冯海[2] 叶梅[1] 

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,武汉430074 [2]武汉理工大学自动化学院,武汉430070

出　　处：《微纳电子技术》2006年第3期138-140,149,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金项目(30170276);武汉理工大学校基金项目(xjj2004255)

摘　　要：根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,利用高压运放设计研制了一种新型的驱动电源,通过对压电驱动器的实验研究表明,其具有精度高、性能稳定、分辨率高、纹波小和电路结构简单等优点,能够满足微定位系统中压电陶瓷驱动器的控制需要。According to the driving power supply for piezoelectric actuator, a new type of driving power supply using high voltage amplifier was designed and developed. It has the following advantages： high precision, stable performance, high-resolution, low ripple and simple structure when it is applied in the experiments. It can meet the need of the complicated control in micropositioning system.

关 键 词：压电陶瓷致动器 高压运放 驱动电源 

分 类 号：TH665[机械工程—机械制造及自动化]