声学显微镜及其进展  

作　　者：杨立峰[1] 王亚非[1] 

机构地区：[1]电子科技大学光电信息学院,成都610054

出　　处：《声学与电子工程》2006年第1期50-53,共4页Acoustics and Electronics Engineering

摘　　要：简要介绍了各种声学显微镜的工作原理和结构,它们包括激光扫描声学显微镜、层析扫描声学显微镜、C模式扫描声学显微镜、机械扫描声学显微镜四种。详细地介绍了它们在国内外的发展以及应用,尤其是对清华大学研制成功的机械扫描声学显微镜和电子科技大学研制成功的激光扫描声学显微镜的应用做了介绍。最后对这四种声学显微镜的工作特征做了简要的比较。

关 键 词：激光扫描 层析扫描 C模式扫描 机械扫描 声学显微镜 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]