利用LIGA工艺研制的微型流体器件  

作　　者：高晓萍 

出　　处：《光机电信息》1996年第4期18-18,共1页OME Information

摘　　要：德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所,积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术,所以可制作三维微小结构体,它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传感器以及微型流体器件之类的部件,并将这些器件组装起来制成微型流体仪器系统,该系统主要用于生物体中,也可应用于微型化学分析系统.

关 键 词：微型流体器件 传感器 制造 微机械技术 

分 类 号：TH－39[机械工程]