SnO_2纳米颗粒多孔薄膜气敏传感器对CO气体的敏感性  

CO Sensitivity of SnO_2 Nanoparticle Porous Layer Gas Sensors

作　　者：丁占来[1] 王建强[1] 安寸然[2] 任德亮[1] 侯哲哲[1] 

机构地区：[1]石家庄铁道学院材料科学与工程系,河北石家庄050043 [2]河北科技大学理学院,河北石家庄050054

出　　处：《传感技术学报》2006年第1期78-80,86,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：在适当的条件下分解有机金属前驱体[Sn(N(CH_3)_2)_2]_2制备了尺寸分布集中的SnO_2纳米颗粒。二氧化锡纳米颗粒胶体沉积到气体传感器的硅基础结构上形成纳米颗粒多孔薄膜传感层,并对传感层进行金属Pt元素原位掺杂。在专用实验台上测定了SnO2纳米颗粒传感器对CO气体的敏感性,结果显示此传感器对CO气体表现出较好的敏感性和稳定性。Decomposition of the organometallic precursor [Sn（N（CH3）2）2]2 in a controlled condition leads to the formation of monodisperse SnO2 nanoparticles. A porous structure nanoparticles sensing-layer is formed by depositing of tin dioxide nanoparticles colloid on micromachined silicon platform of gas sensor. And the sensing-layer is in-situ doped by platinum element. The responses to CO gas of the SnO2 nanoparticles sensor are tested on test bench. The sensors display comparatively high sensitivity and stability for CO sensing.

关 键 词：气体传感器 二氧化锡 纳米颗粒 敏感性 

分 类 号：O614.4[理学—无机化学] TN304[理学—化学]