Equivalent Circuit Analysis of an RF Integrated Inductor with Ferrite Thin-Film  

铁氧体磁膜RF集成微电感等效电路分析(英文)

作　　者：任天令[1] 杨晨[1] 刘锋[1] 刘理天[1] 王自惠 张筱[3] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所,北京100084 [2]伊利诺理工学院电气与计算机工程系 [3]清华大学电子工程系,北京100084

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第3期511-515,共5页半导体学报（英文版）

基　　金：美国自然科学基金资助项目(批准号:0302449)~~

摘　　要：An equivalent circuit for a novel RF integrated inductor with ferrite thin-film is derived. The enhancement of the magnetic ferrite thin-film on the inductance （L） and quality factor （Q） of the inductor is analyzed. Circuit element parameters are extracted from RF measurements. Compared with the reference air-core inductor without magnetic film, L and Q of the ferrite thin-film inductor are 17% and 40% higher at 2GHz,respectively. Both the equivalent circuit analysis and test results demonstrate significant enhancement of the performance of RF integration inductors by ferrite thin-film integration.针对已制作并发表的一种新型铁氧体磁膜结构射频集成微电感进行了等效电路分析.阐述了磁性铁氧体薄膜对电感的感值(L)和品质因数(Q)的增强作用.对射频测试结果进行了电路元件参数提取.结果表明,与空气芯无磁膜微电感相比,磁膜结构微电感的L和Q在2GHz处分别提高了17 %和40 %.等效电路分析和测试结果均证明了铁氧体薄膜的引入对增强射频集成微电感性能的作用显著.

关 键 词：INDUCTOR equivalent circuit ferrite thin-film RF ICs 

分 类 号：TM277[一般工业技术—材料科学与工程]