火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征  

作　　者：陶景光[1] 罗慧倩[1] 廖兆曙[1] 

机构地区：[1]华中理工大学

出　　处：《电子显微学报》1996年第6期505-505,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征陶景光罗慧倩廖兆曙（华中理工大学，武汉４３００７４）金刚石膜由于具有极其优异的性能和广泛的应用，受到国内外的重视。除高温高压人工合成金刚石工艺外，已发展有多种常压气相合成方法，如热丝法、等离子法等。但这些方法大多需要真空...

关 键 词：金刚石薄膜 火焰法 合成 电镜 

分 类 号：O613.71[理学—无机化学] TN304.18[理学—化学]