应用扫描电子显微镜对电沉积Cu／NiCu多层膜结构的表征  

作　　者：张伟[1,2] 薛群基 王友良[1,2] 赵家政[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放室 [2]兰州大学材料系

出　　处：《电子显微学报》1996年第6期554-554,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：应用扫描电子显微镜对电沉积Ｃｕ／ＮｉＣｕ多层膜结构的表征张伟１薛群基１王友良２赵家政１（１．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放室，兰州７３００００２．兰州大学材料系）近年来，由两种不同金属交替构成的多层金属复合膜的研究引起了人们极大的关注。发现...

关 键 词：多层金属复合膜 电沉积 电镀 电镜 

分 类 号：TQ153[化学工程—电化学工业] TG115.213[金属学及工艺—物理冶金]