JEM-100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修  

作  者:施同舟[1] 可金星[1] 

机构地区:[1]第三军医大学中心实验室

出  处:《电子显微学报》1996年第6期106-106,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘  要:JEM-100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修施同舟可金星(第三军医大学中心实验室,重庆630038)故障现象开机后,机械泵(RP)、空气压缩机等工作正常;但扩散泵(DP)不加热,预抽阀V2亦不打开,真空程序停滞在初开机状态。电路分析JEM-10...

关 键 词:电镜 JEM-100SX 真空控制电路 故障 检修 

分 类 号:TN16[电子电信—物理电子学]

 

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