SEM中电磁式电子能量分析器的设计及可视化  

作　　者：周庆[1] 胡问国[1] 高伟[1] 陈尔刚 周开邻[1] 马琳[1] 肖玲[1] 朱世秋[1] 

机构地区：[1]云南大学物理系

出　　处：《电子显微学报》1996年第6期594-594,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金;云南省应用基础研究基金

摘　　要：ＳＥＭ中电磁式电子能量分析器的设计及可视化＊周庆胡问国高伟陈尔刚周开邻马琳肖玲朱世秋（云南大学物理系，昆明６５００９１）最近几年兴起的“计算可视化”是计算机图形学与大型科学计算相结合的结果，利用计算机进行电子光学系统的设计，不仅大大缩短了设计周期，且...

关 键 词：电子能量分析器 电磁式 SEM 设计 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TN202