质子交换铌酸锂波导的退火工艺  

Annealed Technology of Proton Exchange LiNbO_3 Waveguide

作　　者：罗辉[1] 戴基智[1] 杨亚培[1] 包洪涛[1] 赵天卓[1] 佟会[1] 

机构地区：[1]电子科技大学光电信息学院,四川成都610054

出　　处：《光电子技术与信息》2006年第2期17-21,共5页Optoelectronic Technology & Information

摘　　要：介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。The technology of proton exchanged LiNbO3 waveguide was introduced and the characterizations of LiNbO3 waveguide with different cutting orientation, annealed temperature and annealed time were compared.

关 键 词：光波导 退火质子交换 铌酸锂光波导 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]