受激准分子灯  

作　　者：严增濯[1] 

机构地区：[1]华东电子管厂,210012

出　　处：《光源与照明》2006年第1期10-13,共4页Lamps & Lighting

摘　　要：受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品,该灯采用一个充以低压气体的玻壳,两个电极至少有一个置于玻壳外,常用玻壳内无电极的结构。它可产生真空紫外线或紫外线+臭氧气,用于消毒杀菌清洁液晶基片、集成电路晶片等领域。

关 键 词：受激准分子灯 电解质材料 真空紫外线 

分 类 号：TM923.3[电气工程—电力电子与电力传动]