某微电子厂房洁净室暖通空调设计原理及方法探讨  被引量:9

Discussion on principals and methods of HVAC design for micro electronic clean - room

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作  者:秦卓欢[1] 

机构地区:[1]同济大学建筑设计研究院,上海200092

出  处:《制冷技术》2006年第1期32-34,38,共4页Chinese Journal of Refrigeration Technology

摘  要:本文结合了某微电子厂房洁净室空调系统的实例,分析了洁净室的净化空调设计原理,并对气流组织方式、空气处理过程、排风排烟系统进行了阐述和讨论。Based on a Microelectronic cleanroom HVAC system, describes the principles of cleanroom HVAC design and introduce air supply method, air treatment, exhaust and desmokes air supply method, air treatment, exhaust and desmokes system.

关 键 词:洁净室 空调设计 风机过滤单元机组(FFU) 干式冷盘管 

分 类 号:TU831.8[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

 

参考文献:

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