扭摆式微硅型加速度计  

A Planar Vibrator Micromechanical Silicon Accelerometer

作　　者：茅盘松[1] 

机构地区：[1]东南大学电子工程系

出　　处：《电子器件》1996年第3期159-164,共6页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：本文介绍了一种扭摆式微硅型加速度计的工作原理，制作方法和测试电路。In this paper,the operating principle of a planar vibrator micromechanical silicon accelerometer, the way of preparation and the designing of the detecting circuit are introduced.

关 键 词：扭摆式 微硅 加速度计 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学] TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]