用于SPM技术的多维纳米定位系统  

Multi-axis Nano-positioners in Scanning Probe Microscopes

作　　者：郑静琳[1] 李玉和[1] 廖小华[1] 李庆祥[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,100084

出　　处：《新技术新工艺》2006年第4期60-62,共3页New Technology & New Process

基　　金：973国家重大基础研究项目(2003CB716201)

摘　　要：扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分。介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨。This paper reports on recent advancements of multi axis nano-positioners in scanning probe microscopes. The actuators and flexure design of typical nano-positioning systems, including piezo-driven, electric static, meglev and thermally driven positioners are discussed in detail. Research focus and recent progress in this area are also presented.

关 键 词：多维纳米定位系统 扫描探针显微术(SPM) 直接驱动 导向机构 

分 类 号：TN959.6[电子电信—信号与信息处理]