液相沉积法的应用及发展  

Application and Development of Liquid Phase Depositon Method

作　　者：余萍[1] 陈善华[1] 

机构地区：[1]成都理工大学材料与化学化工学院,四川成都610059

出　　处：《广东微量元素科学》2006年第3期12-16,共5页Trace Elements Science

摘　　要：介绍了一种新的湿化学成膜法—液相沉积法,对液相沉积法制备薄膜的原理、工艺流程及最新进展进行了详细阐述,并概述了其应用前景。A new method named liquid phase depositon （LPD） of preparing thirl film through wet chemical process is discussed. The mechanism and technological proccess of LPD is stated. The application and development of LPD are discussed.

关 键 词：液相沉积 氧化物 薄膜 湿化学成膜法 

分 类 号：TN451[电子电信—微电子学与固体电子学]