声表面波气体传感器技术  

The surface acoustic wave gas sensor technology

作　　者：王利敏[1] 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《舰船科学技术》2006年第2期92-95,共4页Ship Science and Technology

摘　　要：叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势。介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分———声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一种新型的气体检测技术。This paper briefly surveys the history of Surface Acoustic Wave technique and state of the art and the developing trend in the SAW Gas Sensor field. The structure and good-bad qualities of the SAW delay line and SAW Resonator is studied. A novel method based upon capillary gas chromatography and SAW for vapour detection.

关 键 词：声表面波(SAW) 气体传感器 声表面波延迟线(SAWDL) 声表面波谐振器(SAWR) 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]