大型金属超高真空系统检漏的特点和方法  

作　　者：蒋道满[1] 席金秀[1] 许炳[1] 管长应[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029

出　　处：《真空科学与技术》1996年第2期148-150,共3页Vacuum Science and Technology

摘　　要：阐述大型系统超高真空获得及运行过程检漏工作的几个特点。对结构复杂的真空室，如何使用分子筛吸附泵与氦质谱检漏仪相结合提高检漏灵敏度，极大限度地找出泄漏的位置。还指出大型金属超高真空系统运行过程如何根据溅射离子泵离子流的数据，判断真空系统漏气及寻找漏点的方法。

关 键 词：检漏技术 分子筛吸附泵 超高真空系统 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]