基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析  

Design and Performance Analysis of a Variable Optical Attenuator Based on Driven Micro-electromechanical System

作　　者：魏会敏[1] 罗风光[1] 曹明翠[1] 胡巧燕 

机构地区：[1]华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北武汉430074 [2]广州银讯光电科技有限公司,广州广东510000

出　　处：《光电子．激光》2006年第6期685-687,共3页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：广州市科技攻关计划重点资助项目(2004Z2-D0201)

摘　　要：研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统（MEMS）可调光衰减器（VOA）。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器，它具有良好的光学性能，克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0～8V，工作范围是0～25dB。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果。The article reports an electrostatic driving micro-electromechanical system （MEMS） variable optical attenuator （VOA） that uses an electrostatic micro-torsion mirror combined with a fiber-optic collimator. The VOA has a simple structure and a low cost. The VOA has good optical performance, and overcomes most conventional VOAs＇ shortages. The driving voltage range is 0-8 V,the working range is 0-25 dB. The paper introduces the relationship of its attenuations and driving voltages, the analysis of optical performance and experimental results.

关 键 词：微电机系统(MEMS) 可调光衰减器(VOA) 插入损耗 偏振相关损耗 波长相关损耗 回波损耗 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统]