32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试  

Design and fabrication of polymer arrayed waveguide grating

作　　者：许英朝[1,2] 张国伟[1,2] 鄂书林[1] 唐晓辉[1,2] 张大明[3] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 [2]中国科学院研究生院,北京100039 [3]吉林大学集成光电子国家重点实验室

出　　处：《光通信技术》2006年第6期22-23,共2页Optical Communication Technology

基　　金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所现代光学创新基金(C03Q14Z)资助;长春市科技计划项目(05GG13)资助。

摘　　要：对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作。经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用Al掩膜技术和回融技术进行了器件的制作。实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm。测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输。器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能。

关 键 词：阵列波导光栅 聚合物 回融技术 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]