基于PSD的高精度激光校准仪的设计  

Design of the high precision laser alignment system with PSD

作　　者：焦国华[1] 李育林[1] 胡宝文[1] 

机构地区：[1]中国科学院西安光学精密机械研究所

出　　处：《传感器与微系统》2006年第6期64-66,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60337030)

摘　　要：针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。Aim at the traditional manual way of the shaft alignment,a high precise laser alignment system with position sensing detector（PSD） is describes, In the PSD signal process, a new method to calculate the value of the position is adopted by using single chip computer with A/D change and the software arithmetic insteud of substitute the pure circuit method, The accuracy and the stability of system are improved, The range of offset measurement is ±4mm;the resolution is 1.5 μm,the accuracy is 5. 5 μm, It can be used for shaft aligment and position.

关 键 词：激光微位移测量 激光校准 位置敏感探测器 轴系校准 

分 类 号：TH741.4[机械工程—光学工程]