IC制造中清洗技术发展的分析  

出　　处：《电子工业专用设备》2006年第6期31-33,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

关 键 词：清洗技术 IC制造 ODS物质 人类生态环境 无腐蚀性 三氯乙烯 化学试剂 污染环境 清洗工艺 氟利昂 

分 类 号：TN305.97[电子电信—物理电子学]