微米亚微米有限凹槽衍射特性的实验研究  

EXPERIMENTAL STUDY ON DIFFRACTIVE PERFORMANCE OF CONCAVE GROOVES WITH SUBMICRON WIDTH

作　　者：郑师海[1] 李德华[1] 陈岩松[1] 戴伦[2] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所,北京100080 [2]北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京100871

出　　处：《物理学报》1996年第8期1292-1296,共5页Acta Physica Sinica

基　　金：国家自然科学基金;北京市中关村地区联合分析测试中心资助的课题

摘　　要：应用微电子制板技术、电子束扫描曝光和离子刻蚀技术研制成功微米、亚微米级宽度的凹槽结构,并对其进行了衍射特性的研究,实验测试数据表明了这些凹槽的明显的矢量衍射特性.In this paper, a group of concave grooves with micron and submicron width was designed and fabricated by using photolithography, electron-lithography and ion etching techniques, and their diffractive performance was investigated in experiment. The experimental measured data show that the grooves have the feature of vector's diffraction.

关 键 词：微米 凹槽 光栅 衍射特性 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]