新型压电驱动微流体混合器实验  

Experimental Investigation of a New Piezoelectric Driven Microfluidic Mixer

作　　者：孙长敬[1] 褚家如[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学工程科学学院,合肥230027

出　　处：《纳米技术与精密工程》2006年第2期132-135,共4页Nanotechnology and Precision Engineering

基　　金：教育部优秀青年教师资助项目教育部博士点科研基金资助项目(20030358018)

摘　　要：鉴于MEMS技术的工艺复杂性及昂贵的制作成本,对基于MEMS技术的压电驱动微流体混合器的结构进行了改进．利用常规的激光加工方法制作了不同尺寸的混合器,并通过实验对其性能进行了研究．结果显示,新型混合器在雷诺数为6．9、悬臂梁振动频率为200 Hz、驱动电压为60 V时达到充分混合所需的通道长度仅为1．1 mm．这比现有的混合器在性能上有很大的提高,基本可以满足目前大多数微流体系统应用的需要．The structure of the piezoelectric-driven mierofluidie mixer based on micro electron mechanical systems（MEMS） technology proposed by the author is improved to fabricate a new mieromixer of various dimensions using laser method. Its performance is investigated experimentally in this paper and test results indicate that the mixing length of 1.1 mm can be achieved in condition of Reynolds number of 6.9, sway frequency of 200 Hz and driving voltage of 60 V, which is better than that of existing mieromixers and satisfies most microfluidie applications.

关 键 词：压电悬臂梁 微流体 混合器 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]