甚长波量子阱红外探测器光耦合性能  

Diffraction Coupling of a Very Long Wavelength Quantum Well Infrared Photodetector Linear Array

作　　者：郭方敏[1] 李宁[1] 于绍欣[2] 熊大元[1] 林剑锋[2] 侯颖[1] 何瑜环[1] 朱自强[2] 陆卫[1] 黄绮[3] 周均铭[3] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083 [2]华东师范大学信息学院,上海200062 [3]中国科学院物理研究所,北京100080

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第6期1109-1114,共6页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10374095);上海应用材料研究与发展基金(批准号:0306);上海市自然科学基金(批准号:04ZR14038);中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室资助项目~~

摘　　要：从实验、测试和计算结果出发,运用有限时域差分法(FDTD)和传统的模式扩展(MEM)理论,研究甚长波量子阱红外探测器(QWIP)几种衍射光耦合的表面近场效应和光耦合效率,重点考察QWIP45°面边耦合、光栅耦合QWIP结构、光栅尺寸、工艺条件的变化对QWIP相关性能的影响.实验与计算结果证明,合理地设计二维光栅,进行甚长波QWIP光耦合,可以获得有效的光耦合效果.Through experiment,test,and analysis,we study the surface near-field effect and optical coupling efficiency of very long wavelength quantum well infrared photodetectors （QWIP）. We apply finite difference time domain modeling and the modal expansion method, and we review different diffraction couplings and different processes and consider their coupling efficiency. The experiment and analysis prove that effective grating coupling can be achieved through the reasonable design of a 2D grating for very long wavelength QWIPs.

关 键 词：量子阱红外探测器 光耦合 2D光栅 响应率 探测率 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]