划片机气静压电主轴热态特性研究  

Study on Air Spindle's Thermal Characteristic in the Dicing Saw

作　　者：王明权[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕效101601

出　　处：《电子工业专用设备》2006年第7期24-28,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施。According to air spindle＇s work principle, this paper studies spindle＇s heat-up of build-in motor＇s power loss and the air layer＇s shear friction; On the basis of above studies, this paper presents some ideas to decrease the air spindle＇s heat-up and increase spindle＇s heat emission,

关 键 词：气静压电主轴 功率损耗 空气轴承 气膜剪切摩擦 主轴散热 

分 类 号：TN305.1[电子电信—物理电子学]