用气体清洗去防止抽粗真空过程中的油返流现象  

作　　者：堤芳 刘雪峰 

出　　处：《四川真空》1996年第3期46-48,共3页

关 键 词：半导体 制造 真空泵 油返 气体清洗法 

分 类 号：TN305.8[电子电信—物理电子学]