热光可调谐Si基聚合物列阵波导光栅  

Thermo-optical Tunable Polymer/Si Arrayed Waveguide Gratings

作　　者：张海明[1] 马春生[1] 秦政坤[1] 刘式墉[1] 张希珍[1] 张丹[1] 张大明[1] 

机构地区：[1]吉林大学电子科学与工程学院 [2]1.吉林大学电子科学与工程学院

出　　处：《光电子．激光》2006年第8期918-921,共4页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60576045;60507004);中国科学院长春光学精密机械与物理研究所现代光学创新基金资助项目(C03Q14Z)

摘　　要：报道了用五氟苯乙烯共聚甲基丙烯酸环氧丙酯（PFS-co—GMA）的聚合物材料制备的33×33信道热光（TO）可调谐的阵列波导光栅（AWG）。给出了器件的制作工艺流程和测试结果。测得器件的波长间隔为0．81nm，3dB带宽为0．35nm，串扰约为-20dB，中心输出信道和边缘输出信道的插入损耗分别为10．4dB和11．9dB，TO可调谐值为-0．12nm／K，在温度为10～65℃时的器件工作中心波长为1545．21～1551．81nm，调谐范围为6．6nm。A 33 × 33 channels thermo-optical （TO） tunable arrayed waveguide grating （AWG） has been fabricated using the poly （2,3,4,5,6-pentafluorostyrene-co-glycidylmethacrylate） （PFS-co-GMA）. The technology process of the device is described, and the measured results are presented. The measured wavelength channel spacing is about 0.81 nm,3 dB bandwidth is about 0.35 nm,the crosstalk is about - 20 dB,and the insertion loss is between 10.4 dB for the centre port and 11.9 dB for the edge ports. The measured TO tunable shift is about -0.12 nm/K . The measured center wavelength is 1 545.21～ 1 551.81 nm in the temperature range from 10℃ to 65 ℃,and the tuning range is 6.6 rim.

关 键 词：聚合物 阵列波导光栅(AWG) 传输光谱 插入损耗 串扰 热光(TO)调谐 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学]