第三讲:机械真空泵(五)  被引量:1

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作  者:张以忱[1] 

机构地区:[1]东北大学

出  处:《真空》1996年第2期45-50,共6页Vacuum

摘  要:第三讲:机械真空泵(五)张以忱(东北大学)六、分子真空泵(一)牵引分子泵1.概述分子真空泵是在1911年由德国人盖德(W·Gaede)首先发明的,并阐述了分子泵的抽气理论,使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积...

关 键 词:真空泵 分子真空泵 

分 类 号:TB752.27[一般工业技术—真空技术]

 

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