ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数  

作　　者：何旭曙[1] 黄河[1] 裴颂伟[1] 鲍苏苏[1] 

机构地区：[1]华南师范大学计算机学院,广东广州510631

出　　处：《电子技术应用》2006年第8期90-93,共4页Application of Electronic Technique

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60076013)

摘　　要：研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型,详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明,考虑通孔自热效应后,使有效热导系数的计算更加符合实际情况,为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。

关 键 词：有效热导系数 通孔直径 通孔间距 

分 类 号：TK122[动力工程及工程热物理—工程热物理]