粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件性能测试  

Performance Test of the Powder Sputtering Plane Thin-film SnO_2/CeO_2 Gas Sensor

作　　者：洪德斌[1] 陈慧凯[1] 孙玉珍 于宗智 马捷 

机构地区：[1]山东大学,山东济南250100 [2]济南半导体研究所,山东济南250014

出　　处：《计测技术》2006年第B09期74-76,共3页Metrology & Measurement Technology

摘　　要：给出了SnO2／10％CeO2(0．4 mm×0．6 mm×0．4 mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。The temperature dissipation curve of SnO2/10%CeO2 （0. 4 min×0. 6 min×0.4 ram） components is given, the aging temperature and aging time, as well as the dependence of gas sensing current Ig on the gas concentration C,are researched and the suitable law is also given.

关 键 词：温耗特性 老化 气敏电流 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学] TN304.21