加工表面形貌测量理论、方法及评价  

作　　者：林滨[1] 黄新雁[1] 魏莹[1] 王岚[1] 

机构地区：[1]天津大学机械工程学院,天津300072

出　　处：《制造业自动化》2006年第8期14-18,共5页Manufacturing Automation

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50475114);天津市科技发展计划项目支持

摘　　要：随着精密、超精密及纳米级加工技术的发展,对工件表面的微观几何结构及表面形貌特性的检测提出了越来越高的要求,传统的二维表面测量,评定方法发展较为成熟,但已经不能满足现代计量技术的需要。三维的测量,评定方法则是目前国内外研究的重点。本文就表面测量方法、理论及评价指标等进行了论述。

关 键 词：表面形貌 测量方法 评价 表面表征 加工 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]