两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用  

Application of Two Thermal Actuators in Miniature Electric Field Sensors

作　　者：叶超[1,2] 陈贤祥[1,2] 彭春荣[1,2] 陶虎[1,2] 夏善红[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第9期1672-1675,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:90207006)~~

摘　　要：设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构,另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号,建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明,两种传感器都具有线性的输出特性,且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度.This paper presents two novel miniature electrostatic field sensors with thermal actuators, one of which uses a chevron actuator array and the other of which uses amplification-compliant micro-transmission. A test system with a lock-in amplifier is constructed to detect the output signal of the sensor. The test results show that both of the two sensors respond to an external electric field linearly, but the sensor with ampliflcation-compliant micro-transmissions has higher sensitivity.

关 键 词：热驱动结构 V型梁阵列 位移放大机构 电场传感器 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]