用PACVD法在钢和金属陶瓷基体上合成TiN/TiCN/TiC表面层系  

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作  者:康卫红 

出  处:《等离子体应用技术快报》1996年第12期4-5,共2页

关 键 词: 金属陶瓷 喷镀 PACVD 

分 类 号:TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]

 

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