使用金属有机物化合物和PACVD方法制备硬涂层  

作　　者：张正模 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第12期8-9,共2页

关 键 词：金属有机化合物 PACVD 等离子体涂层 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]