PACVD TiN涂层抗腐蚀性和机械特性的改进  

作　　者：张正模 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第12期13-15,共3页

关 键 词：PACVD 氮化钛 涂层 抗腐蚀 机械特性 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]