半导体扩散炉组监控软件的通讯模块设计  

Development of communication module of diffusion tube monitoring software

作　　者：綦声波[1] 李君峰[1] 梅兴东 

机构地区：[1]中国海洋大学,山东青岛266071 [2]青岛海迪克公司,山东青岛266000

出　　处：《微计算机信息》2006年第10S期244-246,共3页Control & Automation

基　　金：教育部科学技术研究重点项目(02131)资助

摘　　要：本文以微型计算机在半导体扩散炉控制中的应用为例,对上位机监控软件的通讯和组成模块进行了探讨,并使之能与半导体扩散炉组实现高效、可靠通讯。文中给出了相应的软件流程。It is the main topic of this paper to discuss how monitoring software in computer communicates with diffusion tube group efficiently and stably. The flow chart of the communicating module is given in the paper.

关 键 词：半导体扩散炉 串口通讯 VISUAL C++ 

分 类 号：TP311[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]