低温等离子体放电的数值模型  

Numerical Modeling of Low-pressure Discharge in Plasma

作　　者：胡庆[1,2] 蒙林[1] 鄢阳[1] 高荣[1] 袁家德[1] 

机构地区：[1]电子科技大学物理电子学院,四川成都610054 [2]成都大学电子信息工程系,四川成都610106

出　　处：《成都大学学报（自然科学版）》2006年第3期178-182,共5页Journal of Chengdu University（Natural Science Edition）

基　　金：国家自然科学基金资助项目(编号:60571078);国家重点实验室基金资助项目

摘　　要：综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型,以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象,同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域的应用提供了研究方法.The review of various kinds of numerical modeling of low-pressure plasma discharge helps us understand many unexplainable phenomena based on numerical modeling. Meanwhile, it also provides research methods of low-pressure plasma in industrial applications, such as plasma processing, gas laser and so on, and applications in micro-electronic, material preparation, environmental protection, aerospace industry and military, etc.

关 键 词：数值模型 低温等离子体放电 动力学模型 流体模型 蒙特卡罗模型(简称MC) 混和模型 

分 类 号：TN201[电子电信—物理电子学]