接触电极的功函数对基于碳纳米管构建的场效应管的影响  

The influence of contact metal in carbon nanotube transistor

作　　者：李萍剑[1] 张文静[1] 张琦锋[1] 吴锦雷[1] 

机构地区：[1]北京大学电子学系,北京100871

出　　处：《物理学报》2006年第10期5460-5465,共6页Acta Physica Sinica

基　　金：国家重点基础研究发展规划(批准号:2001CB610503);国家自然科学基金(批准号:90206048;90406014;90406024;60471007);北京市自然科学基金(批准号:4042017)资助的课题.~~

摘　　要：基于碳纳米管构建的场效应管在纳电子器件中占有重要的位置,如何获得p型和n型的电子输运性能是人们所关注的.本文分别采用高功函数的Pt金属和低功函数的Al金属作为源漏电极,获得了p型输运性质和n型输运性质的基于碳纳米管构建的场效应管.能带结构的分析证明了接触电极的功函数在这种场效应管的输运机理中扮演了重要的角色,可以仅仅通过改变接触电极的材料,实现p型场效应管和n型场效应管之间的转换,这是经典的金属与半导体接触的理论无法解释的.We have fabricated p-type and n-type carbon nanotube transistors （CNTFETs） by using high and low work-function metals Pt and AI as contact electrodes, respectively. The band structures indicate that the work functions of contact metals play an important role in operation mechanism of CNTFETs. We can obtain fine-tuning of Schottky barrier heights for p- and n-channel conductions by changing the contact metals. These results can be explained by taking into account the work functions of the contact metals.

关 键 词：碳纳米管 场效应管 肖特基势垒 功函数 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]