ZnO-SnO_2—Cr_2O_3系半导体陶瓷高温湿敏特性研究  

A Study of Humidity Sensing Properties of ZnO-SnO_2-Cr_2O_3 Semiconducting Ceramics for High Temperatures

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作  者:潘晓光[1] 汤清华[1] 叶龙[1] 

机构地区:[1]华中理工大学固体电子学系,武汉430074

出  处:《传感技术学报》1996年第3期8-12,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘  要:研究了ZnO-SnO_2-Cr_2O_3,系半导体陶瓷在高温下的湿敏特性.根据实验结果,对其敏感机理进行了探讨.In the paper, we have studied the sensing properties of ZnO-SnO2-Cr2O3 semi-conducting ceramics. According to the experimental results, sensing mecharism is dis-cussed.

关 键 词:半导体陶瓷 表面吸附 湿敏特性 高温 

分 类 号:TM283.014[一般工业技术—材料科学与工程]

 

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