微系统技术及其应用  

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES AND ITS APPLICATION

作　　者：陈佳品[1] 吴智政[1] 

机构地区：[1]上海交通大学自动化研究所,上海交通大学信息存储研究中心,上海交通大学

出　　处：《微细加工技术》1996年第3期1-5,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：本文介绍了微系统及其技术的一般含义，并对微系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简要分析。the paper introduces in general the meaning of the microsystems and its technologies, summarizes a typical structure of the microsystems, and at last analyses the applications of the microsystems technologies; briefly.

关 键 词：微系统 微细加工 微驱动器 集成电路 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]