基于α∶CH薄膜的微齿轮的制备  

Micro-Gear Fabrication Using Amorphous Carbon Films

作　　者：张继成[1] 吴卫东[1] 唐永建[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

出　　处：《传感技术学报》2006年第05A期1398-1400,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：中国工程物理研究院重大基金项目资助(2005Z0805)

摘　　要：采用低压等离子体化学气相沉积技术在硅片上制备出α∶CH薄膜,以金属铝作为掩膜,利用电子回旋共振微波等离子体反应离子刻蚀法制备微齿轮,再用化学腐蚀的办法将所制备的齿轮从硅片上剥离下来,最后清洗干净后用毛细管把微齿轮组装到一个固定的转轴上.扫描电子显微镜(SEM)测量表明,所得的微齿轮直径270μm左右,厚度12μm左右,表面平整,侧壁陡直.Amorphous carbon films deposited on silicon substrate using low pressure plasma chemical vapor deposition（LPP-CVD） techniques. Micro-gear made of amorphous carbon films fabricated on silicon substrate vie the technique of oxygen-reactive ion etching（RIE） under an Al mask. Micro-gear was released from the substrate using HNA solutions and assembled on the axis by handwork. The result of Scanning Electron Microscopy（SEM） measurement show that the micro-gear with smooth surface and vertical sidewall ,the thickness and diameter of the micro-gear is 270 μm and 12 μm.

关 键 词：微齿轮 反应离子刻蚀(RIE) α:CH薄膜 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]