真空微电子荧光平板显示器件的实验研究  

作　　者：李志能[1] 刘杰明[1] 陈秀峰[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程学系,杭州310013

出　　处：《真空科学与技术》1996年第4期292-295,共4页Vacuum Science and Technology

基　　金：博士点基金;浙江省自然科学基金

摘　　要：描述了真空微电子荧光平板显示器件的工作原理，提出了采用反应离子刻蚀法制作大规模场致发射阵列的工艺，在动态真空系统中测定了荧光平板显示器件的场发射特性，并获得了结果。

关 键 词：真空微电子学 荧光平板显示器 显示器件 

分 类 号：TN141[电子电信—物理电子学]