元素有机聚合物及其涂料  

出　　处：《涂料技术与文摘》2006年第10期31-32,共2页Coatings Technology & Abstracts

摘　　要：用于半导体装置的防反射涂料组合物的倍半硅氧烷树脂；防虫方法及所用聚硅氧烷组合物；具有好的使用性和防污性的甲基硅氮烷聚合物或低聚物涂料；基材在外力作用下形变后恢复性好的涂料；

关 键 词：元素有机聚合物 涂料组合物 聚硅氧烷组合物 硅氧烷树脂 半导体装置 防虫方法 外力作用 防反射 

分 类 号：TQ63[化学工程—精细化工]